水系洗浄は、これからの洗浄システムとして評価が高まって来ています。使用する洗浄剤としては、「機能水」とよばれるアルカリ電解水が、用いられています。使用例としては、加工油の脱脂洗浄や水溶性フラックスの除去洗浄から、精密加工品や液晶ガラス、半導体部品の精密洗浄まで対応が始まっています。